半导体行业应用，尤其是GEM开发者必须需需要的，这个是SEMI标准开发提供的‘’
semi标准 很好的学习资料 欢迎对工厂自动化有兴趣的朋友下载
SECS/GEM E37中文手册，机器翻译非人工,可以拿来参考参考
SEMI E4标准，半导体设备串口通信协议SECS-I。标准定义了半导体设备HOST端口与上层系统如EAP的通迅标准。该标准未定义数据格式，数据格式由E5标准定义。
设备自动化协会标准E84，半导体制造行业自动运输系统需要遵守的通讯标准。 中文版握手协议讲解，更容易理解。
SEIM E4 E5 半导体数据采集资料 通讯协议资料 设备联网 智能制造基础资料
半导体行业标准之一，定义了设备各种状态和生产情况，以及如何分析设备操作时间维修时间测量数据通信数据等标准
SEMI E37-0303 High Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
内容是针对SEMI E5-0301的中英混版，但由于E5协议都大同小异，使用其他E5，如SEMI E5-1000也具有参考作用，文档主要适用于英文水平较低的开发者，仅具有参考作用，具体使用还请参考对应协议原版
标准的SEMI协议，此协议针对于半导体制造。ID类型：SVID、ECID、CEID、RPTID……
光通讯中文使用说明,安装及使用调试方法
c# SECS HSMS编程
SEMI E30-1103 GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT (GEM) SEMI E30.1-0200 INSPECTION AND REVIEW SPECIFIC EQUIPMENT MODEL (ISEM) SEMI E30.5-0302 SPECIFICATION FOR METROLOGY SPECIFIC EQUIPMENT MODEL
SEMI E87 协议，半导体行业
设备自动化协会标准文档，半导体制造行业自动运输系统需要遵守的通讯标准。自99年在E23的基础上制定了E84后，E84逐渐成为主流，开发必备。
SEMI E37-0298 (HSMS spec) High-speed SECS Message services(HSMS) generic services
SEMI E5 -1104 中文版 手动翻译
设备自动化协会标准文档，SEMI E87-0312。做自动化的朋友不用再花钱去买了。
机械翻译非人工..
