将Zygo白光干涉仪得到的xyz文件读取到matlab中，方便后续数据处理
Zygo 101步移相干涉测量算法 Peter de Groot (101-frame algorithm for phase shifting interferometry) 相移干涉测量法（PSI）是在干涉条纹之间进行插值的更常见的技术之一。一个表面剖析的PSI仪器存储了一系列参考相位的CCD图像帧 一系列参考相位的CCD图像帧；然后应用数学算法来恢复相位信息。1 因为波前相位本身是表面轮廓的线性函数。由于波前相位本身是表面轮廓的线性函数，PSI提供了一个高分辨率的表面图测量。 在早期，计算上的限制将图像帧的数量限制在3或4个，这并没有留下多少变化的空间。随着对精度要求的提高，移相算法的长度和种类也随之增加。目前的技术水平已经发展到5、7甚至15帧的品种。2,3,4 本文探讨了这些趋势的局限性，同时回顾了我们Zygo公司用于分析PSI性能的一些数学技术。最后，为了尝试对未来进行远期预测，我提出了一个101帧的算法，该算法对错误源有很强的抵抗力。这个有点极端的例子强调了对算法长度的实际限制，只要我们放宽PSI的定义，这些限制实际上比人们想象的更宽松。
CSDN海神之光上传的全部代码均可运行，亲测可用，尽我所能，为你服务； 1、代码压缩包内容 主函数：GDPSO.m； 调用函数：其他m文件；无需运行 运行结果效果图； 2、代码运行版本 Matlab 2019b；若运行有误，根据提示修改；若不会，可私信博主； 3、运行操作步骤 步骤一：将所有文件放到Matlab的当前文件夹中； 步骤二：双击打开GDPSO.m文件； 步骤三：点击运行，等程序运行完得到结果； 4、物理应用 仿真：导航、地震、电磁、电路、电能、机械、工业控制、水位控制、直流电机、平面电磁波、管道瞬变流 光学：光栅、杨氏双缝、单缝、多缝、圆孔、矩孔衍射、夫琅禾费、干涉、拉盖尔高斯、光束、光波、涡旋 定位问题：chan、taylor、RSSI、music、卡尔曼滤波UWB 气动学：弹道、气体扩散、龙格库弹道 运动学：倒立摆、泊车 天体学：卫星轨道、姿态
The Zernike Application is designed for the advanced user who is evaluating wavefronts in terms of Zernike polynomials.
光学 激光学 光学检测必备知识
Zygo - Stitching MetroPro Application OMP-0375J Stitch7k.app (for NewView 7000 models) Stitch.app (for all other NewView models) MetroPro拼接应用程序旨在测量和分析表面积比单次测量可能更大。拼接可以对颜色进行多次测量测试零件，因为它是由一个机动的阶段，然后合并或拼接多个数据集于一身。有效地，它增加了视野，而不影响横向或横向垂直分辨率。屏幕上显示的图形和结果基于整个屏幕测量面积。 定义测试区域后，创建一个阶段模式，将较大的区域分割为一个阶段较小子区域的数量。每个子区域都等于图像的视野显微镜的物镜和变焦设置，减去一小部分重叠。之后输入软件参数后，过程自动进行。 许多因素决定了拼接区域的最大尺寸。其中包括：物镜放大率、变焦设置（仅适用于带有图像变焦选项的显微镜），以及摄像机分辨率（由摄像机模式控制决定），以及计算机的数量内存。 拼接应用程序支持Zygo Corporation的NewView显微镜，该显微镜配备可编程的电动舞台。电动z驱动（聚焦）是可...
为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律，获得相对真实的功率谱密度（PSD）分布，分别利用4D AccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品，并对一维实测PSD曲线进行对比分析。结果表明，不同干涉仪对中高频信息的响应度不同；干涉仪分辨率越高，响应度越高。利用仪器传递函数（ITF）曲线对实测PSD分布进行了修正，获得了较为真实的PSD分布。在某些频率范围内，标定的ITF曲线和实际响应仍存在差异。
给出了国内几种不同规格傅里叶变换物镜波象差的剪切干涉检测结果,并将其中两种物镜在Zygo干涉仪上进行复测,两者结果完全一致。
ZYGO干涉仪使用说明.doc
如何使用移相式菲索型激光干涉仪测量光学表面面形的精度
zygo干涉仪分析软件metropro手册，介绍其功能及用法等，对光学检测人士非常有用
为了验证相位恢复波前传感器的性能，搭建了相位恢复传感器和Zygo干涉仪对不同波前畸变进行比较测量的实验平台。采用液晶空间光调制器产生的单项像差来验证相位恢复传感器对各种像差的检测能力，把相位恢复测量结果与高精度的Zygo干涉仪测量结果进行比较分析，结果表明在面形误差分布及误差的峰谷(PV)值和均方根(RMS)值上，两者具有一致性，对于波前RMS的测量精度达到3λ/1000左右，这说明相位恢复测量方法的可行性和准确性。
Zygo MetroPro Reference Guide 0347_K 说明书
可直接运行 Matlab光学实验仿真 基于Matlab仿真白光干涉与衍射实验 根据七色光合成为白光原理 直接出图 含程序源代码和文档 干涉与衍射是光学的主要内容，也是计算机仿真的热点。与单色光相比，白光干涉与衍射的计算机仿真是个难点。本文依据七色光可合成为白光的原理，基于Matlab 仿真白光干涉与衍射实验。首先基于Matlab 编写白光光栅衍射仿真程序，然后通过改变输入参数而达到利用一个程序同时仿真白光干涉与衍射实验的目的，仿真结果与实际的白光干涉与衍射实验一致。 基于Matlab 的七色光仿真白光干涉与衍射实验， 其算法主要包括以下几个步骤： ①设置固定参数并赋值，设置可调参数并赋默认值； ②设置仿真光屏参数（即仿真结果RGB 值图像矩阵大小）； ③计算各色光干涉或衍射的光强及其对应的RGB值矩阵数据； ④依据红绿蓝三基色加性混合法则，把各色光的RGB 值矩阵数据计入仿真结果RGB 值图像矩阵中； ⑤显示仿真结果（即显示仿真结果RGB 值图像矩阵）。 光栅衍射的特例还有夫琅和费多缝衍射及多光束干涉等，利用本文的程序，通过改变可调参数也可对它们进行仿真。在实际的干涉实验中，透光缝宽
Zygo两表面干涉测量模块
干涉仪测量数据
从迈克耳孙干涉仪干涉原理出发，分析了圆形镜面抛光面形误差对干涉调制度的影响。由于存在镜面面形误差，干涉调制度不能达到理想情况下的100%，但其干涉调制度不能低于理想情况下的90%。通过分析和讨论，镜面面形误差最好控制在λ/14 以内，干涉调制度才可能不低于90%，这样干涉仪才能保持比较满意的性能。同时，使用Zygo干涉仪对5组平面镜的平面度进行了测量，得到了这5组平面镜的峰-峰值和其他一些参数，通过分析测量结果，这5组平面镜的平面度都能达到干涉调制度的要求。通过对迈克耳孙干涉仪中平面镜面形误差的研究，这对于干涉光谱仪的设计、研制和性能的分析都具有一定的指导意义。
