设备自动化协会标准文档,SEMI E87-0312。做自动化的朋友不用再花钱去买了。
SEMI E87 协议,半导体行业
机械翻译非人工..
半导体行业应用,尤其是GEM开发者必须需需要的,这个是SEMI标准开发提供的‘’
半导体行业的设备通讯协议,SECSII 协议开发文档,英文版
SEMI E37-0303 High Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
SECS/GEM E37中文手册,机器翻译非人工,可以拿来参考参考
半导体行业标准之一,定义了设备各种状态和生产情况,以及如何分析设备操作时间维修时间测量数据通信数据等标准
设备自动化协会标准E84,半导体制造行业自动运输系统需要遵守的通讯标准。 中文版握手协议讲解,更容易理解。
设备自动化协会标准文档,半导体制造行业自动运输系统需要遵守的通讯标准。自99年在E23的基础上制定了E84后,E84逐渐成为主流,开发必备。
标准的SEMI协议,此协议针对于半导体制造。ID类型:SVID、ECID、CEID、RPTID……
SEMI E37-0298 (HSMS spec) High-speed SECS Message services(HSMS) generic services